TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
簡要描述：
瑞士 TRIMOS TR-scan非接觸式微觀形(xing)貌測量(liang)儀 ，全自動共焦三維測量(liang)。具有完(wan)善的分析功能模塊，對其表面(mian)(mian)(mian)形(xing)貌進行輪廓、面(mian)(mian)(mian)積、體積、粗糙度(du)、截面(mian)(mian)(mian)等測量(liang)。
產品時間(jian)：2020-03-12
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀，全自動共焦三維測量。于刀具制造工業，根據多點譜線共焦，一次入射200束光到工件表面，在每束光路上自動聚焦，快速獲得刀具表面三維形貌，采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統，可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量，具有完善的分析功能模塊，對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗(cu)糙度、截面等(deng)測量。
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特點：
強大(da)的(de)多點共(gong)焦技術，zui準確的(de)測量出表面形貌數(shu)據（角(jiao)度、半(ban)徑、輪廓、粗糙度）
通(tong)過(guo)光學(xue)方式測量Ra、Rq、Rz等粗(cu)糙度參數(shu)
測量速度(du)快，可整(zheng)合(he)成一(yi)個(ge)高效(xiao)的在線測量系統(tong)
適用(yong)于陡峭的斜面，爬坡角(jiao)度高達85度
垂直分辨率高達30nm
TRSCAN是(shi)*可(ke)同(tong)時獲得表面形貌和真實顏色信息的3D測量設備，測量更加(jia)精(jing)確靈(ling)活(huo)
通過腳(jiao)本自動測量，更適用于批量測量，并生成圖(tu)形或數字(zi)報告
粗(cu)糙度和輪廓測量符合(he)*EN/ISO4287標準(zhun)
可用(yong)于選定區域的面積及體積計算
可(ke)選配轉臺，實現三(san)維(wei)掃面
可(ke)用于(yu)復雜幾何外形的(de)形狀分析，可(ke)測量角度(du)、半徑等(deng)表(biao)面(mian)特征(zheng)
技術參數：
| 工作(zuo)臺移動(dong)范圍X | 100mm | ||
| 工(gong)作臺移動(dong)范圍Y | 固定式 | ||
| 工(gong)作臺移動(dong)范(fan)圍(wei)Z | 240mm | ||
| XYZ軸zui小(xiao)位移量(liang) | 0.1μm | ||
| XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
| XY軸(zhou)導軌直線(xian)度 | 1.5μm | ||
| 工件zui大重量 | 20kg | ||
| 測量原理 | 非(fei)接觸式多點譜線共焦傳感器 | ||
| 光源 | 白色LED共軸光，高強光，數字(zi)可控 | ||
| 色譜(pu)共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作(zuo)距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬坡(po)坡(po)度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
| 軸向分(fen)辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
| 精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
| 厚度(du)zui小(xiao)分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
| 測量(liang)zui大(da)厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |